Pielietojumi un iespējas
- Kontrole un diagnostika tehnoloģiskiem procesiem vai pielietojumiem, kurā izmanto vakuumu vai kontrolēta sastāva atmosfēru
- Vakuumiekārtu teču diagnostika
- Virsmas tīrība un gāzu adsorbcijas-desorbcijas mērījumi
- Ķīmiskā analīze (kopā ar lāzer-ablāciju)