LU CFI un AS "SIDRABE" izstrādāja jaunu tehnoloģiju un izveidoja daudzfunkcionālu klastera iekārtu vakuuma pārklājumu iegūšanai, kuru izgatavoja AS "SIDRABE". Iekārta ir universāla: nav ierobežojumu uz materiāliem, no kuriem var izgatavot pārklājumus. Komplektācija atbilst vairāku CFI laboratoriju vajadzībām.
Modulāra iekārta ar atsevišķām (neatkarīgām) pārklājumu izgatavošanas kamerām, kas pievienotas vienai centrālajai kamerai.
Atsevišķās kameras:
- Ielādes / izlādes kamera, aprīkota ar jonu lielgabalu pārklājamās virsmaspriekšapstrādei;
- Magnetrona izputināšanas kamera metālu un pusvadītāju pārklājumiem (augsta tīrības pakāpe, kamerā netiek lietotas reaktīvās gāzes);
- Magnetrona izputināšanas kamera oksīdu, nitrīdu, hidrīdu pārklājumiem;
- Termiskās tvaicēšanas kamera metāliem;
- Termiskās sublimācijas kamera organiskiem pārklājumiem;
- Vairāku slāņu pārklājumu izgatavošanai paraugs var tikt pārvietots no vienas kameras otrā, neizņemot no iekārtas;
- Leģēti, cietie šķīdumi, divkomponentu oksīdi, nitrīdi, hidrīdi