Kategorija

Materiālu raksturošana; Tīrtelpas; Mikroskopija

Ražotājs un modelis

Dažādi

Raksturlielumi

Dektak 150:

  • Mērījumu tehnika: Stylus profilometrija
  • Mērījumu iespējas: Div-dimensionālu virsmas profilu mērījumi
  • Parauga apskate: 640 x 480-pikseļu (1/3in.-formāts) kamera, USB
    • Fiksēts palielinājums: 2.6mm FOV (166X ar 17in. monitoru)
    • Manuāls palielinājums: variējams 0.67 līdz 4.29mm (644X līdz 100X ar 17in. monitoru)
  • Stylus sensors: Zemas inerces sensors (LIS 3)
  • Stylus spēks: 0.03 līdz 15mg (N-Lite sensors)
  • Stylus rādiuss: 12.5μm un 2.5μm
  • Parauga turētājs: Manuāls X/Y/Θ, 100 x 100mm X-Y translācija, 360° rotācija, 150mm (6in.) pārvietojums,1μm atkārtojaība, 0.5μm izšķirtspēja
  • Datorprogrammatūra: Dektak software, Windows XP, Step Detection software (std.), Stress Measurement software, 3D Vision analysis software
  • Papilus:
    • Skenēšanas attālums: 55mm (2.16in.)
    • Datu punktu skaits vienam mērījumam: 60,000 lielākais
    • Parauga lielākais biezums: Līdz100mm (4in.)
    • Pamatnes lielākais izmērs: 150mm (6in.)
    • Soļa augstuma atkāŗtojamība: 6Å, 1 sigma uz 0.1μm soļa
    • Vertikālais attālums: 1mm (0.039in.)
    • Vertikālā attāluma izšķirtspēja: 1Å max. (pie 6.55μm apgabala)

Zygo 7100:

  • Mērījumu tehika: 3D optiskais interferometrs
  • Redzeslauks: no 0.5 līdz 2 mm
  • Objektīvi: 5x, 10x, 50x
  • Optiskā izšķirtspēja: ≤ 4µm
  • x/y skenēšanas ātrums: ≤ 26µm/sek
  • Parauga turētājs: Motorizēta 150 mm x/y kustība; Manuāla ±6° gala rotācija
  • Parauga lielākais izmērs: 89 x 203 x 203 mm
  • Vertikālā attāluma izšķirtspēja: 0.1nm
  • Vertikālais attālums: 150µm
  • Fokuss: Motorizēts, manuāls un auto-fokusa iespēja
  • Tiešsaistes attēls: 23" TFT monitors ar tiešsaistes attēlu
  • Skenēšanas un apstrādes datorprogrammatūra: ZYGO MetroPro

Pielietojumi un iespējas

  • Caurspīdīgu kārtiņu/fotorezista un citu kārtiņu biezums
  • Plānu un biezu kārtiņu mērījumi
  • Nelīdzenumu pētījumi
  • Virsmas kvalitāte un defektu pārbaude