Kategorija

Materiālu sintēze un apstrāde; Spektroskopijas metodes un lāzeri 

Ražotājs un modelis

Heidelberg Instruments - µPG 101

Raksturlielumi

Starojuma avots: 375 nm, lāzeris

Lielākā intensitāte: 70 mW

Rakstīšanas ātrums: 5 mm2/min

Novietojuma tolerance: 200 nm (3σ vērtība) ar 120 nm manu nelīdzenumu

Lielākais rakstīšanas laukums: 90 x 90 mm 

Pielietojumi un iespējas

Heidelberg µPG ir tiešs rakstītājs, litogrāfijas sistēma, kurai nav nepieciešamas maskas. Rakstītājā izmanto UV lāzera staru, kuru selektīvi pakļauj virsmām uz parauga.

Rakstītāja galva definē raksturīgo veidojumu izmēru, kas šī brīža uzstādījumos ir zem 1µm.