Vislielākais burtu izmērs
Lielāks burtu izmērs
Burtu standarta izmērs

LU CFI zinātniskais seminārs (17.05.2017.)

13.05.2017

17. maijā plkst. 15:00, LU CFI, Ķengaraga ielā 8, 2.stāva zālē Andreas Stamm (Oxford Instruments/ Plasma Technology) stāstīs par tēmu “Plasma Processing for dry etching and deposition”

The talk gives an overview about different ways to use a cold plasma for applications in micro- and nanoelectronics like

  • Dry Etching RIE / ICP – RIE/ ALE
  • Plasma Deposition PECVD
  • Magnetron Sputtering
  • Atomic Layer Deposition ALD
  • Ion Beam Etching and Deposition
  • the growth of 1d and 2d materials

Many example applications will be shown.