Vislielākais burtu izmērs
Lielāks burtu izmērs
Burtu standarta izmērs
MULTIFUNKCIONĀLA KLĀSTERA IEKĀRTA VAKUUMA PĀRKLĀJUMU IZGATAVOŠANAI: PARAMETRI, IESPĒJAS, AKTUĀLIE PROJEKTI
Pēdējās izmaiņas veiktas:
29.03.2016

Dr.habil.phys. Juris Purāns (LU CFI EXAFS Spektroskopijas laboratorija)

LU CFI un AS "SIDRABE" izstrādāja jaunu tehnoloģiju un izveidoja daudzfunkcionālu klastera iekārtu vakuuma pārklājumu iegūšanai, kuru izgatavoja AS "SIDRABE". Iekārta ir universāla: nav ierobežojumu uz materiāliem, no kuriem var izgatavot pārklājumus. Komplektācija atbilst vairāku CFI laboratoriju vajadzībām.

Modulāra iekārta ar atsevišķām (neatkarīgām) pārklājumu izgatavošanas kamerām, kas pievienotas vienai centrālajai kamerai.

Atsevišķās kameras:

  • Ielādes / izlādes kamera, aprīkota ar jonu lielgabalu pārklājamās virsmaspriekšapstrādei;
  • Magnetrona izputināšanas kamera metālu un pusvadītāju pārklājumiem (augsta tīrības pakāpe, kamerā netiek lietotas reaktīvās gāzes);
  • Magnetrona izputināšanas kamera oksīdu, nitrīdu, hidrīdu pārklājumiem;
  • Termiskās tvaicēšanas kamera metāliem;
  • Termiskās sublimācijas kamera organiskiem pārklājumiem;

Iespējas:

  • Vairāku slāņu pārklājumu izgatavošanai paraugs var tikt pārvietots no vienas kameras otrā, neizņemot no iekārtas;
  • Leģēti, cietie šķīdumi, divkomponentu oksīdi, nitrīdi, hidrīdi.