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ECHANTILLONS TEST NANOSTRUCTURÉS POUR ANALYSE COUPLÉE AVEC UNE SONDE À CHAMP PROCHE (2012 - 2013)
Last Update
25.06.2013

Dossier de candidature PHC OSMOSE 2012 Code Projet : 26303RM

Objectif scientifique et/ou technologique de la collaboration

Les techniques de microscopie à champ proche sont de plus en plus utilisées en laboratoire mais leur mise en oeuvre nécessite un personnel qualifié. Ces outils, notamment l' AFM (microscope à force atomique) pourraient également être utiles dans l'industrie (notamment pour le contrôle de qualité) si elles étaient d'une part plus accessibles et d'autre part permettaient l'accès a une analyse chimique locale.

La société AXESS TECH distribue en France des microscopes à champ proche depuis pres de 10 ans, elle est actuellement coordonateur d'un programme EUROSTARS - ses partenaires sont deux autre PME (France et Allemagne) et un laboratoire de recherche public (France). Le programme consiste en la réalisation d'un prototype d'AFM capable d'imager la topographie d'un

échantillon irradié par un faisceau de rayons X, la sonde AFM ou SNOM (microscope à champ proche optique) devant recueillir pendant le balayage un signal (lumière visible ou rayons X) émis par l'échantillon.

Les partenaires du projet ont les complémentarités nécessaires pour le mener à bien mais des échantillons de test sont indispensables pour qualifier les prototypes, tant dans le cas des mesures de luminescence que de fluorescence. L'équipe Lettone possède un savoir faire dans le domaine de la spectrométrie de rayons X et dans le dépôt de matériaux à propriétés ajustables (oxydes de métaux de transition purs ou en mélange). Les prototypes sont en cours de montage, les tests pour l'acquisition de la topographie seront conduits avant la fin 2011.

Avant de pouvoir passer à la phase de commercialisation, la société AXESS TECH devra passer par deux à trois années de travaux supplémentaires : design de l'appareil, tests précis des performances pour la collection de lumière et définition de la palette d'échantillons de calibration à proposer . C'est pour cette phase de travail apres l'achèvement du programme EUROSTARS que la collaboration avec le groupe Letton est capitale.

Grace à la proximité d'un pole de microélectronique dans la région d'Aix en Provence et à ses liens avec l'université, AXESS TECH pourra bénéficier des plateformes techniques nécessaires pour la réalisation des masques de lithographie et réaliser ainsi les réseaux topographiques sur lesquels l'équipe de Riga fera les dépots. Les tests de qualification se feront chez AXESS TECH.

Nous attendons deux séries d'échantillons: Une première série présentant des raies d'émission dans le spectre visible, pour ces échantillons l'acquisition de la réponse dans une bande spectrale donnée se fera en même temps que le balayage d'acquisition de la topographie; deux images "jumelles" topographie et réponse optique (liée à la composition chimique) pourront ainsi être produites. Une autre série est destinée à l'émission d'un signal de fluorescence X et devra permettre apres acquisition d'une image de topographie de déplacer la sonde vers un point remarquable de l'échantillon pour y effectuer une analyse EDX .

Une troisième phase de travail pourrait consister à enfouir les couches produites - soit par implantation ionique - soit par dépot d'une couche neutre supplémentaire - Dans le cas de l'analyse EDX ceci permettrait d'avoir accès à une analyse de l'échantillon en trois dimensions.